曝光是利用光照将掩模版上的图形经过光学系统后投影到光刻胶上，实现图形转移，是集成电路制造中光刻工艺的重要工序之一。
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曝光（光刻工艺中使用的曝光技术）
Simone
发布于 2023-04-23 19:38:14
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Simone
发布于 2023-04-23 19:38:14
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