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薄膜混合集成电路

薄膜混合集成电路

薄膜混合集成电路指在同一个基片上用蒸发、溅射、电镀等薄膜工艺制成无源网路,并组装上分立的微型元件、器件,外加封装而成的混合集成电路。

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